妖精视频网页版機大氣射流等離子體的發展和影響射流長度的條件
文章導讀：大氣射流等離子體裝置有哪些發展階段？影響妖精视频网页版機射流長度的條件有什麽？接下來妖精视频大全免费就為大家普及相關的內容：
當前，微電子工業中用到的妖精视频网页版機低溫等離子體工藝仍是在真空條件下來完成的。真空條件為大麵積均勻性提供了保證，但是，真空條件所需要的投入在整個等離子體工藝線的投資方麵占了很大的比例。因此，為了擺脫對真空環境的依賴，在大氣壓條件下獲得均勻放電等離子體的問題在20世紀80~90年代被提到了議事日程，並在全球範圍內形成了巨大的研究熱潮，為大氣射流等離子體的發展提供了良好基礎。
1 大氣壓非熱力平衡態冷等離子體射流（n-TECAPPJ）裝置的前身
20世紀90年代初，Koinuma等開發出了一種微束等離子體裝置。該裝置放棄了大麵積均勻性的要求，在直徑2mm的範圍內，采用CF(1%)/He作為放電氣體和70W的射頻功率，在矽片上本得了5nm/s的刻蝕速率。這種裝置可以認為是n-TECAPPJ所用裝置的前身。
20世紀90年代初，Koinuma等開發出了一種微束等離子體裝置。該裝置放棄了大麵積均勻性的要求，在直徑2mm的範圍內，采用CF(1%)/He作為放電氣體和70W的射頻功率，在矽片上本得了5nm/s的刻蝕速率。這種裝置可以認為是n-TECAPPJ所用裝置的前身。
由於其消耗的平均功率非常小，所產生的等離子體射流對環境以及被處理材料表麵幾乎沒有什麽熱效應，因此可以將其稱為“冷等離子體射流”。射頻與高頻放電等離子體的產生機理是有所不同的；從應用的角度來看，高頻電源更便宜，相關裝置的設計與製造也更間單，因此更實用，從近十年的文獻分析來看，這類裝置的結構大多采用了在惰性氣體(或以惰性氣體為主摻入一些活性氣體)氣流通道上形成DBD。
2 實驗測量得出影響射流長度的條件
等離子體子弓單的速度是人們比較關心的一個問題，雖然Teschke等早在2005年就已經指出，等離子體子弓單是一種電驅動效應，與氣流無關，因為在大多數實驗條件下氣體流速僅約10m/s，比上述子弓單的速度小3~4個數量級，但是實驗發現氣體流速對等離子體子弓單所形成的射流在空氣中的長度有決定性的影響。
孫姣等zui早報道了氣體流速與射流長度的關係。通過采用一種焓探針來測量流出石英管的氣體的軸向流速，他們發現無論是氦氣還是氬氣產生的等離子體射流的長度，在氣體處於層流狀態下時，幾乎與氣體流速成線性關係。 進一步的實驗研究表明，情況比該結論更複雜，除了氣體流量或流速外，驅動電源的參數如電壓、頻率、脈衝寬度等在一定的條件下都會影響射流的長度。
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