妖精视频网页版機的電極板麵積不對稱就可以做刻蝕？
文章導讀：妖精视频网页版機所產生的等離子體，不僅具有清除有機物和無機物的“清潔”特性，而且通過改變電極結構、電極麵積或饋入方式，可以滿足一定的等離子體刻蝕的要求，今天妖精视频大全免费來探討一下妖精视频网页版機的電極板不對稱怎麽可以做到刻蝕。
妖精视频网页版機等離子刻蝕在半導體行業的應用屬於常規工藝，例如通入特殊的工藝氣體形成離子體，其中具有腐蝕性的等離子體基團會與矽晶圓等未經遮擋的表麵進行反應，把線路刻蝕出來，那麽轟擊到電極（工件）表麵的離子是一個非常重要的參數，顯然控製離子能量的電極（工件）壓降的定標是一個很重要的問題。
圓柱形容性RF放電電極板電壓模型
圖3 石英玻璃反應腔體放電狀態
圖1 陰極和陽極電極板麵積不對稱，電極的壓降不相等的平行平板電極的等離子放電模型
上圖1是典型平行平板高頻妖精视频网页版機的電極結構，其電極壓降VA和VB與兩電極的表麵積SA和SB之間的比例關係根據過往的經驗給出公式：
VA/VB=（SB/SA）α
反應離子刻蝕（RIE）模式下，電極電壓VA和電極麵積SA是放置工件（晶圓）的帶電電極（RF饋入），也叫陰極；而VB和SA是接地電極（GND），也叫陽極。根據曆史經驗數據表明指數α的變化範圍為：1.0≤α≤2.5。
雖然經過國內外無數科學家多年的研究，根據基本的原理確定了指數α的範圍，但在專業領域電容高頻等離子體反應器物理學仍是尚未解決的物理問題。經驗確定的範圍是假定的理想狀態，即假設兩個電極所截獲的實際離子電流相等。該假設對於兩個電極都帶電的對稱情況顯然是真實的；但是不清楚的是為什麽對非對稱的幾何結構這也是真實的。
另外此模型還假設器壁處於等離子體足夠負的電位上，離子電流來自無規轟擊形成的離子飽和流。
對於圓形電容耦合高頻放電，電極板壓降的經驗定標仍然服從指數α的變化範圍為：1.0≤α≤2.5。如圖2所示
VA/VB=（SB/SA）α
反應離子刻蝕（RIE）模式下，電極電壓VA和電極麵積SA是放置工件（晶圓）的帶電電極（RF饋入），也叫陰極；而VB和SA是接地電極（GND），也叫陽極。根據曆史經驗數據表明指數α的變化範圍為：1.0≤α≤2.5。
雖然經過國內外無數科學家多年的研究，根據基本的原理確定了指數α的範圍，但在專業領域電容高頻等離子體反應器物理學仍是尚未解決的物理問題。經驗確定的範圍是假定的理想狀態，即假設兩個電極所截獲的實際離子電流相等。該假設對於兩個電極都帶電的對稱情況顯然是真實的；但是不清楚的是為什麽對非對稱的幾何結構這也是真實的。
另外此模型還假設器壁處於等離子體足夠負的電位上，離子電流來自無規轟擊形成的離子飽和流。
對於圓形電容耦合高頻放電，電極板壓降的經驗定標仍然服從指數α的變化範圍為：1.0≤α≤2.5。如圖2所示
圓柱形容性RF放電電極板電壓模型
工業應用中的圓柱形容性耦合射頻妖精视频网页版機的結構，往往是用圓柱形的石英玻璃做為反應腔體，在玻璃的外麵包裹一層銅質電極，用來處理對均勻性要求不是非常高的產品，例如小尺寸的晶圓。放電狀態如圖3所示
圖3 石英玻璃反應腔體放電狀態
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