半導體封裝行業用到的妖精视频网页版設備有哪些種類?
1、按妖精视频网页版設備的運行方式：分為獨立式妖精视频网页版設備和在線式妖精视频网页版設備
（1）獨立式（又叫離線式、單體式、批量式等）妖精视频网页版設備主要結構包括：真空腔體（包含電極；又叫反應腔、反應倉、反應室等）、設備外殼、電氣控製係統、氣路係統、等離子發生器（包括電源和匹配器）和真空係統。
（2）在線式（又叫連續式、不間斷式等）妖精视频网页版設備主要結構包括：上下料推送機構、上下料放置平台、上下料提升係統、上下料傳輸係統、上下料撥料機構、真空腔體、設備主體框架、電氣控製係統、氣路係統、等離子發生器（包括電源和匹配器）和真空係統。
在線式妖精视频网页版設備是在獨立式的基礎上，為滿足對表麵處理均勻性、一致性品質要求更高，以提高自動化程度，減少人工參與等需要設計而成。
2、按等離子產生的激勵方式分為：電容耦合（CCP）、感應耦合（ICP）和電子回旋共振（ECR）等
3、按等離子發生器的工作頻率來分：中頻（又叫低頻、超聲40〜100KHz），高頻（又叫射頻13.56MHz），微波（2.45GHz）
發頻率與等離子自偏壓的關係
激發頻率與等離子密度的關係
不同頻率激發的等離子體特性和能量是不一樣的，對於側重物理清洗的產品，用中頻妖精视频网页版設備比較合適；側重化學清洗的產品，采用微波妖精视频网页版設備；化學物理反應兼顧的，建議使用射頻妖精视频网页版設備。當然，等離子激發頻率隻是等離子產生的核心因素之一，妖精视频网页版設備的電極結構、工藝氣體、真空度、處理時間等等，同樣是影響清洗效果的關鍵。
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