等離子表麵刻蝕常用四氟化碳?
文章導讀:等離子表麵刻蝕是妖精视频网页版機的一大功能,那麽妖精视频网页版機實現刻蝕功能通常會用什麽氣體?
妖精视频网页版機的功能主要包括清洗、活化、接枝(沉積)及刻蝕,實現這些功能除對放電方式和電極結構有要求外,工藝氣體的選擇也是非常重要的,特別是等離子表麵刻蝕功能。四氟化碳是實現刻蝕功能的一種常規氣體。
一、等離子刻蝕為什麽常用四氟化碳
刻蝕通常又會被稱為蝕刻、咬蝕、凹蝕等,刻蝕作用是利用典型的氣體組合形成具有強烈蝕刻性的氣相等離子體與物體表麵的有機物基體發生化學反應,生成其他比如CO,CO2,H2O等氣體,從而達到蝕刻的目的。
實現刻蝕所使用的氣體大多為含氟氣體,應用zui多的是四氟化碳。四氟化碳是一種無色無味的氣體,無毒、不燃,但在高濃度時具有麻醉作用,所以在工業應用時儲存的容器為專用高壓氣瓶,所使用的減壓閥也為專用減壓閥。
四氟化碳在被妖精视频网页版機電離後會產生含氫氟酸成分的刻蝕性氣相等離子體,能夠對各種有機表麵實現刻蝕及有機物去除,在晶圓製造、線路板製造、太陽能電池板製造等行業中被廣泛應用。
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二、放電顏色及行業應用
真空妖精视频网页版機電離四氟化碳氣體產生的等離子體顏色為白色,肉眼觀察類似於稀薄的白色霧氣,辨識度很高,很容易與其他氣體區分。
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